Comunicazione

La sorgente di radiazione nell'estremo ultravioletto a scarica elettrica in gas dell'ENEA: descrizione ed applicazioni.

Mezi L., Bollanti S., Brusatin G., Businaro L., Della Giustina G., Di Lazzaro P., Fagnoni M., Flora F., Gerardino A., Murra D., Protti S., Torre A., Torti E.
  Giovedì 14/09   16:00 - 19:00   Aula A222   VI - Fisica applicata, acceleratori e beni culturali
In questa comunicazione, dopo un breve riassunto delle principali caratteristiche della radiazione nella regione dell'Estremo UltraVioletto (EUV), viene descritta la sorgente di radiazione EUV a scarica elettrica in gas operante nel Centro Ricerche ENEA di Frascati. Si riportano inoltre i risultati ottenuti dagli irraggiamenti EUV per la formazione di patterns sub-micrometrici tramite litografia a contatto su cristalli di fluoruro di litio e su fotoresist innovativi, sviluppati nell'ambito del progetto (01/04/2013-31/03/2016, CUP 2012-0816) "New materials for direct nano-patterning and nano-fabrication by EUV and soft X-rays exposures", finanziato dalla Fondazione CARIPLO.